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靜電對潔凈車間有哪幾種危害?

發(fā)布時間:2023-12-13 08:11:04

靜電對潔凈車間有哪幾種危害?文章概要:對我們來說,靜態(tài)可能是一個小問題的意見,只是片刻的事情,但清潔車間的靜態(tài)是關(guān)于產(chǎn)品合格率。讓我們了解靜電對清潔車間的危害。1.靜電庫侖力在靜電庫侖力的作用下,清潔車間吸收的灰塵和污垢會增加元件的泄漏或短路,從而損壞性能,大大降低產(chǎn)量和可靠性。如粉塵粒徑>100微米,鋁絲寬約100微米,氧化膜厚度在

靜電對潔凈車間有哪幾種危害?

對我們來說,靜態(tài)可能是一個小問題的意見,只是片刻的事情,但清潔車間的靜態(tài)是關(guān)于產(chǎn)品合格率。讓我們了解靜電對清潔車間的危害。

1.靜電庫侖力

在靜電庫侖力的作用下,清潔車間吸收的灰塵和污垢會增加元件的泄漏或短路,從而損壞性能,大大降低產(chǎn)量和可靠性。如粉塵粒徑>100微米,鋁絲寬約100微米,氧化膜厚度在50微米,**容易廢棄的產(chǎn)品。現(xiàn)在線直徑較薄,氧化膜很薄,粒徑小的灰塵顆粒會損壞元件,這種情況發(fā)生在清洗車間腐蝕清洗,光刻,點焊和包裝等工序中。

2.靜電放電ESD

(1)元件的*緣氧化膜被破壞,引線在電線之間燃燒或熔化。如果機身帶有10KV(100pF)的靜電,觸摸設(shè)備腳時會發(fā)生ESD,清潔車間的瞬時脈沖放電電流峰值可以達到20A(10~100s),更不用說高密度,細(xì)線直徑,薄的SiO2薄膜Lsi,Vlsi,一般是IC,MOS會受到損害。

(2)造成潔凈車間噪聲和電磁波干擾

ESD導(dǎo)致電磁波前后峰相對尖銳,信號強,相當(dāng)于電路中幾伏的能量,頻率跨越幾個MH2極有數(shù)百MH2的強大噪聲,可能對元件造成損壞,設(shè)備和傳感器無法正常工作,甚至造成清潔車間設(shè)備崩潰。

(3)觸電

盡管在半導(dǎo)體,平板顯示器和光電子器件等潔凈室中已經(jīng)做了很多工作,但潔凈室中的靜電問題仍然影響生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量,制造成本和效益,以及產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。根據(jù)外國行業(yè)專家的估計,美國靜電造成的年度產(chǎn)品損失平均為8-33%。有人估計,美國靜電引起的電力行業(yè)每年損失價值10億美元。在20世紀(jì)80年代,對日本廢棄電子產(chǎn)品的分析占ESD的損失的1/3。中國的半導(dǎo)體,平板液晶顯示器,光電子等起步較晚,但靜電危害也時有發(fā)生,產(chǎn)量低。

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